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水泵

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分子真空泵之涡轮分子泵

分子真空泵之涡轮分子泵

[来源:未知]??? [作者白云泵业]??? [日期:2018-05-10 09:05]??? [热度:]

  涡轮分子泵区别于牵引分子泵,它是以高速旋转的动叶片与静止的静叶片相互配合来实现抽气的:

涡轮分子泵结构原理

  如上图所示,涡轮分子泵由多级叶列组成,转子与定子按次序交替排列。叶列的级数与压缩比有关;叶片的形状会同时影响抽速与压缩比,入口抽速大压缩比小,接近出口则相反。分子泵工作时吸入压力大多在1Pa以下,此时分子流状态下,分子间的平均自由行程大,与高速旋转的叶片之间的碰撞几率远高于分子之间的碰撞。因此高速旋转的叶片会使气体在外摩擦作用下,形成定向运动流向出口,产生抽气效果,转速越高,对抽速越有利。

  随着轴承技术、数控技术的发展,空气轴承、磁悬浮轴承等的应用,涡轮分子泵很好地解决了油污染的问题,目前工作范围可以从1Pa到10^-9Pa,抽速则从50L/S发展到了25000L/S,甚至到达了40000L/S。

  与牵引分子泵相比,涡轮分子泵在分子流状态下抽速优势明细,但同时它在过渡流及黏滞流状态下抽速会很小,对前级泵的要求较高。而牵引分子泵的压缩比与抽气槽形有关,提升简单,因此就出现了结合两种分子泵有点的复合分子泵。干式螺杆真空泵厂家在下一篇中继续为大家介绍。

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